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润和微光王晓峰衍射光学元件及其应用

发布时间:2019-08-15 17:04:12 编辑:笔名

  2015年 月17日,由OFweek中国高科技行业门户主办,OFweek承办的 OFweek2015先进激光技术及应用研讨会 在上海喜马拉雅酒店隆重举办。北京润和微光科技有限公司王晓峰在本次会议上发表了 衍射光学元件及其应用 主题演讲。

  衍射光学元件(DOE:DiffractiveOpticalElements),是基于光波的衍射理论,利用计算机辅助设计,并通过半导体芯片制造工艺,在基片上(或传统光学器件表面)刻蚀产生台阶型或连续浮雕结构,形成同轴再现、且具有极高衍射效率的一类光学元件。衍射光学元件薄而轻,体积小,还具有高衍射效率、多设计自由度、良好的热稳定性和独特的色散特性,是诸多光学仪器的重要元件。

  润和微光王晓峰

  会议上,王晓峰顾问重点讲述了衍射元件产品类别及用途,并且介绍了分束元件、多焦点元件、平顶整形元件及特征图形元件在微加工中的应用。他说: 利用分束元件实现的二维点阵阵列在激光体感和激光测绘方面有重要应用,如果点阵中的点的数量足够多,则能够定量精确的测绘目标的表面信息,在方面也有重要意义。

  在讲到平顶整形元件在微加工中的应用时,他说, 高斯光束的能量分布方式为中间高边缘低,在进行加工时,有相当一部分能量不能被有效利用。同时,为了保证加工的均匀性,光斑间的重叠要足够大,从而影响加工效率的提高。平顶整形元件可将高斯光束转换为客户所要求形状的平顶光束,光斑内能量均匀,从而可以大幅提高加工质量,减小HAZ,提高加工效率。

  此外,他还介绍了多焦点元件在微加工中的应用,他说: 在封装领域,激光封装方法是实现高精度、低温、低应力、晶圆级键合封装的最优方案。特征图形元件配合平顶整形元件将在该领域发挥重要作用。

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